2705 光ファイバを用いた 3D タッチプローブに関する研究(第 3 報)
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概要
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This paper presents an improved touch probe system for higher sensitivity. In this system, three fiber optic displacement sensors measure displacement and direction of a tip ball of the probe. Because the measuring resolution of the displacement was less than 80nm in experiments, a probe pre-travel was determined to 100nm. The variation of the pre-travel was less than 80nm in whole directions. The measuring force was less than 0.8mN in horizontal directions, and was 11mN in vertical direction. A over travel mechanism using kinematic joint requires consideration of its repeatability.
- 2003-08-05
著者
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