超音波振動を用いたアクティブエアベアリング : 振幅変調を用いた精密位置決め

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概要

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• 2001-06-20

著者

• 大岩 孝彰

  静岡大学工学部

• 大岩 孝彰

  静大工

• 野原 賢治

  静岡大学

• 大岩 孝彰

  静岡大学

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