C-3-71 ダイレクトボンディングにおけるO_2プラズマ表面処理の非相反移相型光アイソレータの光導波特性への影響(C-3. 光エレクトロニクス(導波路デバイス3), エレクトロニクス1)
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-09-07
著者
-
水本 哲弥
東京工業大学
-
武井 亮平
東京工業大学大学院理工学研究科
-
櫻井 一正
東京工業大学大学院理工学研究科
-
水本 哲弥
東京工業大学 大学院理工学研究科
-
水本 哲弥
東京工業大学大学院理工学研究科
-
齊藤 日出紀
東京工業大学大学院理工学研究科
-
武井 亮平
東京工業大学理工学研究科電気電子工学専攻
-
櫻井 一正
東京工業大学 大学院理工学研究科 電気電子工学専攻
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