アゾポリマー表面に規則配列した微粒子の光による選択的固定
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概要
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微粒子をアゾポリマー表面に二次元規則配列し, 更にその表面上に任意パターンで固定する技術を提案し, その可能性を検討した. アゾポリマーは, 光照射により「表面凹凸構造の形成」及び「表面への微小物体の固定」の二つを可能とする性質を有する. 最初に前者の特性を利用して, 二度の干渉露光によりアゾポリマー表面に凹凸パターンテンプレートを形成し, その上に微粒子を配列した. その後, 後者の特性を利用して光照射による微粒子の選択的固定を行い, 続いて未固定粒子を洗浄除去した. 結果として, 微粒子を正方構造および六方構造で二次元規則配列し, 更に微粒子のマイクロパターニングにより二次元フォトニック結晶構造を容易に作製できることを実証した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2006-01-20
著者
-
下山 宏
名城大学理工学部
-
渡辺 修
豊田中央研究所
-
渡辺 修
豊田中研
-
渡辺 修
株式会社豊田中央研究所 フロンティア研究部門
-
多和田 昌弘
名城大学理工学部
-
下山 宏
名城大 理工
-
井川 泰爾
株式会社豊田中央研究所
-
多和田 昌弘
名城大学大学院 理工学研究科
-
下山 宏
名城大学大学院 理工学研究科
-
加藤 貴裕
名城大学大学院 理工学研究科
-
多和田 昌弘
名城大学
-
下山 宏
名城大学大学院 理工学研究科 電気電子工学
-
渡辺 修
株式会社豊田中央研究所
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