走査型近接場光学顕微鏡を用いたアゾポリマへのナノ光加工(有機分子エレクトロニクスの現状と将来展望論文小特集)
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概要
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開口径 : 約50nmの微小開口を有する光ファイバプローブにより発生させた近接場光に対する有機材料系感光性アゾポリマ表面の変形について検討を行った.(1)アゾポリマは,プローブに入射させる偏光状態に応じた変形をする.(2)プローブ開口径を小さくすると,マーク形状を小さくできるが,プローブをより材料に近づける必要がある.(3)しかしながら,マーク幅はプローブ開口径の6倍程度であった.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-12-01
著者
-
下山 宏
名城大学理工学部
-
渡辺 修
豊田中央研究所
-
渡辺 修
(株)豊田中央研究所
-
渡辺 修
豊田中研
-
土森 正昭
(株)豊田中央研究所
-
渡辺 修
株式会社豊田中央研究所 フロンティア研究部門
-
多和田 昌弘
名城大学理工学部
-
井川 泰爾
(株)豊田中央研究所
-
下山 宏
名城大 理工
-
井川 泰爾
株式会社豊田中央研究所
-
森 渉
名城大学大学院 理工学研究科
-
多和田 昌弘
名城大学大学院 理工学研究科
-
下山 宏
名城大学大学院 理工学研究科
-
多和田 昌弘
名城大学
-
下山 宏
名城大学大学院 理工学研究科 電気電子工学
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