マルチエミッタ評価装置による電子放出素子のその場・real time観察(電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術)

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概要

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これまで我々は、マルチエミッタの動作状態や性能を評価するためのマルチエミッタ評価装置を開発してきた。本装置はLEEM/FEEM像およびPEEM/FEEM像の同時観察が可能であり、エミッタの電子放出状態と表面形状のその場・real time観察が行える。しかしながら、素子からの放出電流が増加すると、電子放出状態を示すFEEM像の像強度がLEEM像またはPEEM像の像強度より桁違いに大きくなるため、同時観察が困難であった。また、放出電流の増加とともに、強電界の印加されている試料・対物レンズ間で、突発的な放電も発生していた。これらの問題を解決するために、従来までDCモードのみであった素子駆動用のフローティング電源をパルスモードでも動作できるように改良した。これにより、素子の間欠的動作が可能となり、放出電流量の平均値を減らすことができ、その結果、放出電流が多い場合においても、同時観察が可能となった。また、突発的な放電も劇的に減少させることができた。
2009-10-08

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