LIGAプロセスを用いたMIMによるマイクロ構造体の製造の可能性(S18-1 粉末成形とその評価(1),S18 粉末成形とその評価)
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概要
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This study aims to investigate the possibility for producing microstructure metal parts by applying micro metal injection molding (μ-MIM) in molding process of LIGA. The micro insert MIM methods based on LIGA process were proposed, and used two types of sacrificial molds for MIM as following; 1) PMMA resist and 2) PMMA mold injected in Ni electroformed mold. These processes named "LIGA/μ-iMIM" and were realized using SUS316L stainless steels. It was demonstrated that LIGA/μ-iMM method actually had a great potential to produce microstructure parts, and it was also confirmed that finer powder was better for their transcription.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2004-09-04
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