LIGAプロセスを用いた金属粉末射出成形によるマイクロ構造体の製造法
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概要
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This study aims to investigate the possibility for producing micro metal structured parts by applying micro metal injection molding (μ-MIM), the insert μ-MIM methods based on LIGA process were proposed, which used two types of sacrificial molds for MIM processing as following; 1) PMMA (polymethylmethacrylate) resist and 2) PMMA mold injected in Ni electroformed mold. These processes were named “LIGA/μ-iMIM method” and the feasibility was checked by using SUS316L stainless steel powders. It was demonstrated that this method had a great potential to produce micro metal structured parts, also confirmed that the finer metal powders were better for their transcription than the coarse one.
- 社団法人粉体粉末冶金協会の論文
- 2005-01-15
著者
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