Long Electron Cyclotron Resonance Plasma Source for Reactive Sputtering
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 社団法人応用物理学会の論文
- 1996-10-15
著者
-
Yasui Toshiaki
Department Of Production Systems Engineering Toyohashi University Of Technology
-
Tahara Hirokazu
Department of Mechanical Engineering, Faculty of Engineering Science, Osaka University
-
Yoshikawa Takao
Department of Mechanical Engineering, Faculty of Engineering Science, Osaka University
-
Yoshikawa T
Division Of Mechanical Engineering Department Of Mechanical Science And Bioengineering Graduate Scho
-
NAKASE Kiyotaka
Department of Mechanical Engineering, Faculty of Engineering Science, Osaka University
-
Nakase Kiyotaka
Department Of Mechanical Engineering Faculty Of Engineering Science Osaka University
-
Tahara Hirokazu
Department Of Mechanical Engineering Faculty Of Engineering Science Osaka University
-
Yasui Toshiaki
Department of Process Systems Engineering, Toyohashi University of Technology, Toyohashi, Aichi 441-8580, Japan
関連論文
- 305 熱プラズマMOCVDによる大気雰囲気下での柱状組織TiO_2皮膜の高速合成(OS10-II 表面改質)
- 303 層流熱プラズマジェットを用いたMOCVDによる酸化物光触媒皮膜の高速合成(OS10-I 表面改質)
- 大阪工業大学・超小型衛星搭載用電熱加速型パルスプラズマ推進機の流れ場の数値計算と性能測定
- ホール型イオンロケットエンジンの推進性能測定とプラズマ数値シミュレーション
- 電気推進ロケットエンジン搭載超小型人工衛星の研究開発
- 大気TPCVDアモルファス酸化チタン皮膜の後熱処理による結晶化
- 大気TPCVD/溶射複合コーティング法を用いた酸化亜鉛皮膜の形成
- 1107 大気熱プラズマCVDによる色素増感型太陽電池用アナターゼ皮膜の形成(OS10-2 自然エネルギー利用)
- ステンレス基材への燃焼炎ダイヤモンド合成における作動ガス比変化の結晶成長に及ぼす効果
- 熱プラズマによるアモルファス酸化チタン皮膜の結晶化処理
- アルミニウムの迅速窒化に用いた超音速窒素プラズマジェットの分光測定
- 2.最近の電気推進機の開発研究とプラズマ技術(新たな宇宙開発を拓く核融合技術,研究最前線)
- 311 Mo溶射被覆軟鋼基材への燃焼炎法によるダイヤモンド合成におけるFe-Mo中間層の熱応力緩和効果(溶接力学)
- 大気TPCVDアナターゼ皮膜を光電素子とする色素増感型太陽電池の開発
- ホールスラスタの推進効率および内部効率に与える磁場特性の影響
- 3411 燃焼炎CVDダイヤモンド/APSMo複合皮膜の耐摩耗性(S16-3 皮膜の磨耗および残留応力特性(1),S16 コーティング材料の皮膜特性とその評価)
- カスプとダイバージェントノズル状の外部磁場をもつパルス作動型電磁プラズマ加速アークジェット推進機の性能とプラズマ特性
- ホールスラスタの推進性能と加速チャンネル壁近傍のプラズマ特性の関係
- 円形断面放電室をもつ低電力ホールスラスタの性能特性とプラズマ状態
- 405 大気TPCVDによるZnO成膜における基材温度の影響(薄膜,平成18年度春季全国大会)
- 末広がり型ホローアノードを有するアノードレイヤー型ホールスラスタの作動特性
- 宇宙推進用ホール型プラズマ加速器の性能とイオンビーム計測
- スパッタリングとレーザアブレーションで成膜された窒化炭素膜の膜構造
- 電熱加速型パルスプラズマスラスタの内部非定常現象の数値計算
- 大阪工業大学・超小型人工衛星搭載用パルスプラズマロケットエンジンシステムの開発研究
- 高インパルス発生用電熱加速型パルスプラズマスラスタの性能特性と連続作動試験
- 電熱加速型パルスプラズマスラスタの連続作動特性
- Fabrication of AlN Coatings by Reactive Atmospheric Plasma Spray Nitriding of Al Powders
- Influence of Substrate Materials upon Fabrication of Aluminum Nitride Coatings by Reactive RF Plasma Spraying
- Fabrication of Silicon Nitride Thick Coatings by Reactive RF Plasma Spraying
- 大気TPCVDによるZnO成膜における基材温度の影響
- 大気熱プラズマCVDによる光触媒酸化物薄膜の高速合成
- 308 Mo溶射被覆した軟鋼基材上への燃焼炎法によるダイヤモンド合成(OS10-II 表面改質)
- 650 nm AlGaInP Visible Light Laser Diode with Dry-Etched Mesa Stripe
- Magnetic Properties of Iron in Nanocapsules
- Thermal Analysis of Laser-Emission Surface-Normal Optical Devices with a Vertical Cavity
- Effect of Substrate Surface Change on Flattening Behaviour of Thermal Sprayed Particles
- Preparation and Evaluation of Ordinary Attritor Milled Ti-Al Powders and Corresponding Thermal Sprayed Coatings
- Diagnostic Experiment and Kinetic Model Analysis of Microwave CH_4/H_2 Plasmas for Deposition of Diamond like Carbon Films
- Plasma Generation by Resonant-Cavity Microwave Discharge and Its Applications for Material Processing
- Material Spraying Using Electromagnetically Accelerated Plasma
- Improvement of Wear Resistance of Steels by Nitriding Using Supersonic Expanding Nitrogen Plasma Jets
- Plasma Diagnostics of CH_4/O_2/H_2 Electron Cyclotron Resonance Plasma with Permanent Magnets and Deposition of Amorphous Carbon
- Chlorine-Based Dry Etching of III/V Compound Semiconductors for Optoelectronic Application
- X-ray Photoelectron Spectroscopy Study of the Interactions of O^+ and N^+ Ions with Polyimide Films
- Space Plasma Simulator Performance Using an Electron Cyclotron Resonance Plasma Accelerator
- Long Electron Cyclotron Resonance Plasma Source for Reactive Sputtering
- Plasma Generation and Beam Extraction on Reentrant-Cavity-Type Electron Cyclotron Resonance Ion Source
- Single-Wall Carbon Nanotubes Growing Radially from Ni Fine Particles Formed by Arc Evaporation
- Uniformity Improvement of Optical and Electrical Characteristics in Integrated Vertical-to-Surface Transmission Electro-Photonic Device with a Vertical Cavity
- Synthesis of Sc_C_ Crystallites Encapsulated in Carbon Nanocapsules by Arc Evaporation of Sc-C Composite
- Applications of Quasi-Steady Magneto-Plasma-Dynamic Arcjets to Ceramic Coatings
- Record Low Threshold Current in Microcavity Surface-Emitting Laser
- Microwave Ion Source Using Resonant Cavity
- Chlorine-Based Smooth Reactive Ion Beam Etching of Indium-Containing III-V Compound Semiconductor
- 114 熱プラズマアシストMOCVDによるZnO薄膜の高速合成(表面改質)
- Smooth and Vertical InP Reactive Ion Beam Etching with Cl_2 ECR Plasma
- カスプ・ダイバージェントノズル状外部磁場をもつMPDスラスタの性能とプラズマ特性
- Silicon Nitride Films with Low Hydrogen Content, Low Stress, Low Damage and Stoichiometric Composition by Photo-Assisted Plasma CVD
- 137 超音速プラズマジェット照射により窒化処理を施した鉄鋼材料の寸法変化(材料工学)
- Finite Difference Solutions to Sound Radiation from Cylindrical Ducts
- 宇宙航行用アークジェット推進機の開発研究
- 大気圧マイクロ波プラズマ溶射を用いたセラミックス皮膜の作製および特性評価
- 摩擦攪拌接合における接合欠陥形成機構解明のための模擬実験
- インサート金属を用いた超硬合金同士の拡散接合
- Co量の異なる超硬合金の直接拡散接合
- 大阪工業大学プロイテレス3号機・月探査超小型衛星搭載用低電力ホールタイプイオンエンジンの開発研究
- 大阪工業大学プロイテレス衛星1号機搭載用パルスプラズマロケットエンジンシステムのフライトモデルの最終開発状況
- FSWの品質保証に関する研究会
- 低毒性推進薬HANを用いた宇宙航行用アークジェットエンジンの性能特性
- S1901-1-6 大阪工業大学・電気推進ロケットエンジン搭載超小型人工衛星プロイテレスの開発(小型宇宙システム(1),社会変革を技術で廻す機械工学)
- 燃焼炎ダイヤモンド合成法における成膜温度の結晶成長に及ぼす影響
- 宇宙機表面絶縁材料のアーキングによるアブレーシヨン現象の数値計算
- 摩擦攪拌作用によるアルミニウム合金と純チタンの重ね点接合における接合機構
- 摩擦攪拌作用によるアルミニウムと鉄鋼材料の接合における接合界面形成におよぼす塑性流動の影響
- FSWの品質保証に関する研究FSW接合金属の流動現象に及ぼすツール先端温度の影響
- FSWの品質保証に関する研究 : 接合不良部形成メカニズムについて
- 超硬合金の拡散接合に及ぼす接合雰囲気の影響
- 宇宙用電熱加速型パルスプラズマ推進機の非定常現象の数値計算
- 電熱加速型パルスプラズマスラスタにおける性能の推進剤依存性
- 宇宙飛翔体表面絶縁材料のアーキング特性とそのアブレーション現象の数値計算
- パルスプラズマロケットエンジンの流れ場の数値計算
- 宇宙航行用アノードレイヤー型ホール推進機の作動特性
- 超音速プラズマ反応性溶射法による窒化チタンの成膜
- ホールスラスタ内部プラズマの一次元数値計算
- 宇宙推進用アノードレイヤー型ホール効果プラズマ加速器の性能特性
- 大阪工業大学・小型人工衛星搭載用パルスプラズマロケットエンジンの連続作動実験
- 426 摩擦攪拌を用いたAl/Fe突合せ接合におけるツール形状が界面形態および継手強度に与える影響(溶接・接合のプロセスと評価(1),ものづくりにおける基礎研究と先端技術の融合)
- 超小型衛星搭載用電熱加速型パルスプラズマ推進機の流れ場の数値計算と性能測定(電気推進・先端推進の数値シミュレーション)
- 溶射粒子偏平凝固挙動に及ぼす初期凝固の影響
- アルミニウム合金の摩擦攪拌接合における材料流動の数値流体解析
- 摩擦攪拌作用によるアルミニウムと鉄鋼材料の接合におけるプローブ形状が及ぼす塑性流動の影響
- 低電力大気圧マイクロ波プラズマ溶射による硬質クロム皮膜作成
- スポット摩擦攪拌によるAl合金/鋼板接合継手の疲労強度特性
- プラズマ電解酸化におけるマイクロアークの挙動
- 反応性プラズマ溶射法によるAlN皮膜作製におけるプラズマガスの影響
- 超硬合金の接合に対する拡散接合法の適用
- 摩擦攪拌による異材円形接合においてツール形状が接合特性に及ぼす影響
- Spot welding between Aluminum Alloy and Several Kinds of Steels by Friction Stirring
- Material Spraying Using Electromagnetically Accelerated Plasma