反応性プラズマ溶射法によるAlN皮膜作製におけるプラズマガスの影響
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概要
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- 2012-05-10
著者
-
山田 基宏
豊橋技術科学大学
-
安井 利明
豊橋技術科学大学
-
福本 昌宏
豊橋技科大
-
MOHAMMED Shahien
豊橋技術科学大学(院)
-
福本 昌宏
豊橋技術科学大学
-
山田 基宏
豊橋技科大
-
福本 昌宏
豊橋技術科学大学大学院機械工学専攻
-
Yoshikawa T
Division Of Mechanical Engineering Department Of Mechanical Science And Bioengineering Graduate Scho
-
Tsubakishita Y
Osaka Univ. Osaka
-
Fukumoto Masahiro
Toyohashi Univ. Technol.
-
SHAHIEN Mohammed
豊橋技術科学大学
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