超音速プラズマ反応性溶射法による窒化チタンの成膜
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概要
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- 2006-12-27
著者
-
田原 弘一
大阪工業大学
-
田原 弘一
大阪大学 大学院基礎工学研究科 機能創成専攻 機能デザイン領域
-
Tahara Hirokazu
Department Of Mechanical Engineering Faculty Of Engineering Science Osaka University
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