Diagnostic Experiment and Kinetic Model Analysis of Microwave CH_4/H_2 Plasmas for Deposition of Diamond like Carbon Films
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 1995-04-15
著者
-
Yasui Toshiaki
Department Of Production Systems Engineering Toyohashi University Of Technology
-
Murai Akira
Department Of Applied Physics Osaka City University
-
Murai Akira
Department Of Applied Physics Faculty Of Engineering Osaka City University
-
Minami K
Yamaguchi Univ. Ube Jpn
-
Minami K
Graduate School Of Science And Technology Niigata University
-
Minami K
Sharp Corp. Nara Jpn
-
Murai A
Telecommunications Advancement Organization Sendai Jpn
-
MINAMI Ken-ichiro
Department of Thoracic and Cardiovascular Surgery, Kansai Medical University Hirakata Hospital
-
Tahara Hirokazu
Department of Mechanical Engineering, Faculty of Engineering Science, Osaka University
-
Yoshikawa Takao
Department of Mechanical Engineering, Faculty of Engineering Science, Osaka University
-
Yoshikawa T
Division Of Mechanical Engineering Department Of Mechanical Science And Bioengineering Graduate Scho
-
Tahara Hirokazu
Department Of Mechanical Engineering Faculty Of Engineering Science Osaka University
-
Yasui Toshiaki
Department of Process Systems Engineering, Toyohashi University of Technology, Toyohashi, Aichi 441-8580, Japan
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