7. エッチングプラズマのパラメータ制御 (<小特集>ドライエッチング用プラズマ)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Several experiments have been performed on plasma production and control which are considered to be of crucial importance for next-stage plasma dry etching. Using a plane slotted antenna with permanent magnets, we can produce uniform ECR plasmas of almost 50cm in diameter, which are unmagnetized in the regin far from the ECR position. Two methods using a pin-hollow cathode and a coarse separation grid have been established for electron-temperature control. The electron temperature can now be controlled in the wide range from a few eV to 0.3 or 0.03eV.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 1995-08-25
著者
関連論文
- High-Resolution Photoemission Study of UNi_2Al_3 and URu_2Si_2
- 26aB59P 我が国の大学における核融合研究に関するアーカイブズ(加熱・加速, 磁場・電源, 炉設計, 新概念, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- 27pA46P 我が国の大学における核融合研究に関する資料調査(トカマク、加熱、電源・マグネット超伝導技術、炉設計)
- 容量連結型電極を用いたプラズマ生成における回路パラメータの影響
- 30pZM-5 我が国の大学における核融合研究に関する資料調査 II
- 容量連結型電極を用いたプラズマ生成とそのエネルギー制御
- 負荷電微粒子捕集器を用いたシランプラズマ中微粒子除去
- 容量連結型電極を用いたプラズマ生成とその制御
- 26aB16P CCMDによる大気圧プラズマ生成とオゾン発生への応用(プラズマ基礎・応用)
- 5 微粒子プラズマ研究の国際協力(シンポジウムVII : 微粒子プラズマの展望)
- 微小重力環境におけるプラズマ中微粒子の集団構造形成(最近の研究から)
- 微小重力環境におけるプラズマ中微粒子の集団構造形成
- 微小重力下における球状拡散プラズマ中の微粒子挙動
- 22pYB-4 微小重力下微粒子実験用グリッドケージ内のプラズマ計測
- 31aZL-9 Q マシンプラズマ中の速度変調イオンビーム揺動における負イオン効果
- 30pZL-8 微小重力下におけるプラズマ中微粒子雲の形成過程
- 27aC29P 強結合微粒子群の渦流形成とその動的挙動(プラズマ基礎・応用)
- 26pA04 微小重力環境におけるプラズマ中微粒子の集団構造(プラズマ基礎・応用II)
- 電場形成についての室内実験
- 微小重力環境におけるプラズマ中微粒子の集団的振舞
- プラズマ中に帯電し浮上するダイヤモンド微粒子の挙動と成長
- 微小重力環境プラズマにおける球対称微粒子雲の形成
- 27pA26P クーロンクラスターの構造と挙動に関するシミュレーション(プラズマ基礎・応用)
- 27pA06P テスラ級強磁場下におけるプラズマ中微粒子雲回転に対する中性ガス圧力の効果(プラズマ基礎・応用)
- 27aA06 電位駆動による強結合微粒子の渦流形成(プラズマ基礎・応用)
- 微小重力下でのプラズマ中微粒子
- 28aXG-2 磁化プラズマ中微粒子雲回転に対する微粒子密度依存性
- 28aXG-1 磁化プラズマ中空間構造制御による微粒子雲回転運動の駆動
- 27pA14P 磁化高周波放電プラズマ中に浮遊する微粒子雲の回転制御(プラズマ基礎・応用)
- 放電プラズマ中微粒子雲の挙動制御
- 23aD-10 小型円筒電極によるプラズマ中微粒子流の駆動
- 26aA4 直流放電プラズマ中強結合微粒子渦流の空間構造(プラズマ基礎/壁相互作用)
- 25pA16p 電子シャワーによる大粒径微粒子浮上(プラズマ基礎/炉材料)
- 25pA15p 強結合微粒子の挙動に関するシミュレーション(プラズマ基礎/炉材料)
- 30p-XM-12 直流放電プラズマ中糸状微粒子配位の形成とその動的挙動
- 30p-XM-11 直流放電プラズマ中強結合微粒子群の渦流構造
- Electronic Structures of CeNi_2Al_5 and CeNiAl_4 Studied by Photoelectron Spectroscopy : Condensed Matter: Electronic Properties, etc.
- Single Crystal Neutron Diffraction Study of the Magnetic Phase Diagram of the Heavy Fermion Superconductor UPd_2Al_3
- Anomalous Transport Phenomena in SmS and TmSe with Pressure-Induced Valence Transitions
- 27aWD-4 ヘリカルアンテナ利用テスラ級強磁場中でのフラーレン質量分離
- 27pA38P テスラ級強磁場中フラーレンイオン質量分離の高効率化(プラズマ基礎・応用)
- 1996年プラズマ理工学国際会議報告 : ICPP 96 ニュース6
- Time Variation of the Cosmic Ray Muon Flux in Underground Detectors and Correlation with Atmospheric Temperature
- Atmospheric Neutrino Background and Pion Nuclear Effect for KAMIOKA Nucleon Decay Experiment
- Search for Nucleon Decays into Anti-Neutrino+Mesons
- Resonant Photoemission and X-Ray Photoemission Spectra of UPd_2Al_3, UPt_2Si_2 and U_2PtSi_3
- 30p-WA-6 ECRによるμ▽B加速に伴うプラズマ電位形成機構
- 30p-YB-10 発散型磁力線に沿うプラズマ流に対するECR効果
- 25aXG-13 強結合ダストプラズマにおける磁場中でのダストの回転
- 27pA01P 平面ECRプラズマ生成用高効率マイクロ波伝送路(プラズマ基礎・応用)
- 24aD-9 発散型磁場中局所ECRによるプラズマ電位形成のシミュレーション
- 25aA6 不均一磁場中局所ECRにより形成されるプラズマ電位構造の解析(ミラー/FRC)
- 31p-XM-11 ミラー型磁場中局所ECRに伴う電位形成シミュレーション
- 30p-XM-9 巨大負イオン局所生成に伴う3次元プラズマ構造形成シミュレーション
- 巨大負イオンの局所生成に伴う自己励起プラズマ揺動
- Magnetic Properties of the Heavy-Fermion Antiferromagnet Ce7Ni3
- Magnetic Properties of the Heavy-Fermion Antiferromagnet Ce_7Ni_3
- Possible Spin-Fluctuation Mediated Superconductivity in UPd_2Al_3
- Spin Fluctuations in the Heavy Fermion Superconductor UPd_2Al_3 Studied by Neutron Inelastic Scattering
- Scaling Relations for the Production and Acceleration of a J×B Driven Rotating Plasma
- Recent Results of Rotating Plasma Experiments for Isotope Separation
- Photoemission and Bremsstrahlung from Uranium Compounds : Chapter 4. Optical Properties : 4-1. Photoemission and inverse Photoemission Studies of Electronic Structures
- X-Ray Photoelectron Spectroscopy Study of U (Rh_Pd_x)_3 Alloys
- 25pB13p GM冷凍式超電導マグネット利用の弱電離プラズマ中イオン種分析(ヘリカル/プラズマ応用)
- 30p-XM-14 磁場中の帯電微粒子の力学
- 30p-XM-13 電磁場中の強結合微粒子の挙動に関するシミュレーション
- 25pB-4 アークプラズマ制御のフラーレンベースナノ構造創成への効果
- 26aB7 プラズマ制御によるフラーレンベースのナノ構造創成(ヘリカル/プラズマ応用)
- 29p-XH-1 プラズマ制御によるSi-フラーレン複合物質の創製
- 29a-YX-12 Si内包フラーレン生成の試み
- Metamagnetic Transition and Phase Diagram of a Heavy Fermion Superconductor UPd_2Al_3
- Metamagnetic Transition of Heavy Fermion Uranium Compounds : Upd_2Al_3, URu_2Si_2 and UPt_3
- High Field Magnetization of UPd_2Al_3
- Si-Fullerene Compounds Produced by Controlling Spatial Structure of an Arc-Discharge Plasma
- de Haas-van Alphen Studies of YbAs above and below Neel Temperature
- Anomalous Susceptibility of UPd_2Al_3 near the Upper Critical Field
- A New Method to Observe de Haas-van Alphen Oscillations with a Superconducting Quantum Interference Device
- 純チタン・スパッタ・インプラントの膜厚の相違が再結晶化ハイドロキシアパタイト・インプラントの界面組織に与える影響
- 90〜65nmプロセス対応のプラズマ酸化・窒化装置 (特集 最先端半導体デバイスの量産を支えるベストソリューション)
- プロセスプラズマソース
- 27aWD-5 Na-フラーレンプラズマの空間構造と原子内包フラーレン形成機構の相関
- 26pB21p Na-フラーレンプラズマ制御の薄膜構造への効果(ヘリカル/プラズマ応用)
- 26pB20p 薄膜形成用フラーレンプラズマの空間構造(ヘリカル/プラズマ応用)
- 6. フラーレンプラズマの性質と応用 : アーク放電による炭素クラスターの合成と応用
- 31a-YQ-10 K-フラーレンプラズマ中負イオンの空間分布
- 7.ダストプラズマの応用 : フラーレンプラズマ(ダストプラズマの現状と課題)
- 5a-Yp-9 弾倉式JxBアークジェットフラーレン連続自動合成装置による金属内包フラーレン等の合成
- 29a-YF-5 塊状炭素投入型連続アーク合成装置を用いた金属内包フラーレンの合成
- K-フラーレンプラズマの生成とその応用
- 回転導入型JxBアークジェットフラーレン自動合成装置を用いた金属内包フラーレンの合成
- K-フラーレンプラズマの生成と特性解析
- 28p-Q-8 フラーレン-ポタシウムプラズマ中のドリフト波型不安定
- 24aD-8 プラスマ中径方向電位分布制御と低周波不安定性
- 25pB4 ECRプラズマ中径方向電位分布の制御と低周波揺動への効果(プラズマ基礎/RFP)
- Is La_3Ni a New Unconventional Superconductor?
- Heavy-Electron Behavior in a Low-Carrier-Concentration Compound YbAs
- Anisotropy in a Heavy Fermion Superconductor: UPd_2Al_3
- A New Mass-Enhanced Ferromagnet: U_2PtSi_3
- Variation of Radial Plasma Density Profile with the Excitation Frequency in a Magnetron-Type Plasma
- Modified Magnetron Type Plasma Source for Etching Applications