2.プラズマ生成の基礎 : 2.4高周波・マイクロ波放電(<講座>プラズマ生成4)
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概要
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The basic concept of radio frequency and microwave discharges is presented. The mechanisms of electric breakdown of a gas and acceleration of electrons by electric fields for ionization are reviewed as well as the condition for steady state discharges. The configuration of plasma production devices is also described.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 1993-04-25
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