6.プラズマによる廃棄物処理(<小特集>実用装置におけるプラズマ生成)
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概要
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Typical examples of plasma treatment of toxic materials are introduced. The first one is decomposition of CFC by inductively coupled RF torch working with water vapor. The second one is slag formation by melting flyash with a DC or an AC plasma torch in order to reduce the volume of waste. The third one is decomposition of silane and NF_3 by a low pressure plasma placed between a plasma reactor and a pumping system.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 1993-08-25
著者
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