2)層流方式光CVD法によるアモルファスシリコン膜形成方法(情報入力研究会)
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概要
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- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1992-05-20
著者
-
野崎 秀俊
株式会社東芝セミコンダクター社 システムlsi事業部
-
山口 鉄也
東芝
-
野崎 秀俊
東芝
-
飯田 義典
東芝
-
古川 章彦
東芝
-
山口 鉄也
(株)東芝 セミコンダクター社システムlsi事業部 システムlsi統括第一部
-
古川 章彦
(株)東芝 研究開発センター Ulsi研究所
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