2行同時独立読出しIL-CCDの提案(<論文特集>固体撮像技術)

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概要

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• 色の解像度, 色モワレの点で有利な, 高画質化が可能な, 2行同時独立読出し方式による1/2インチIL-CCD撮像素子の提案を行った.2行分の画素信号を独立に, 1本の垂直CCDで転送できるようにするため, 多層配線構造により開口の劣化を抑えた, 高密度垂直CCDを開発した.さらに, フィールドプレートによる素子分離技術を用いた, 水平CCD間の電荷転送ロスの少ない並列水平CCD構造を実現した.また, 基本性能である感度を向上するため, (1)フィールドプレート構造により, 垂直CCDの狭チャンネル効果を低減し, 実効的に開口率を大きくする, (2)横型オーバフローゲートによるブルーミング抑圧法を採用することにより, フォトダイオードの光電変換領域を深くし, 光感度を向上する, (3)フィールドプレートとオーバフローゲートを兼用し, 開口率の低下を抑えたFPOG(フィールドプレートオーバフローゲート)構造を検討した.試作, 評価により, 高画質, 高感度のIL-CCDの実現見通しを得た.

• 社団法人映像情報メディア学会の論文
• 1987-11-20

著者

• 尾崎 俊文

  株式会社日立製作所中央研究所

• 尾崎 俊文

  (株)日立製作所中央研究所

• 竹本 一八男

  株式会社日立製作所 中央研究所

• 小沢 直樹

  株式会社日立製作所 中央研究所

• 小沢 直樹

  日立製作所・中央研究所

• 竹本 一八男

  日立中研

• 大場 信弥

  (株)日立製作所中央研究所

• 小沢 直樹

  日立製作所中央研究所

• 小池 紀雄

  株式会社日立製作所中央研究所

• 竹本 一八男

  日立 ディスプレイグループ

• 竹本 一八男

  株式会社日立製作所中央研究所

• 竹本 一八男

  株式会社日立製作所 茂原工場

• 中井 正章

  株式会社日立製作所中央研究所

• 安藤 治久

  株式会社日立製作所中央研究所

• 小野 秀行

  株式会社日立製作所中央研究所

• 大場 信弥

  株式会社日立製作所中央研究所

• 小野 秀行

  (株)日立製作所中央研究所

• 竹本 一八男

  日立 茂原工場

• 安藤 治久

  (株)日立製作所中央研究所

• 尾崎 俊文

  日立 中研

• 大場 信弥

  日立 中研

• 小池 紀雄

  (株)日立製作所中央研究所

• 中井 正章

  (株)日立製作所中央研究所

• 中井 正章

  日立

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