単板カラー固体撮像素子用色フィルター
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概要
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色フィルターをSiフォトダイオード上に直接積層する方式で単板カラー固体撮像素子を試作した.製作プロセスを単純化するために, 色フィルターの構成材料としては, すべて感光性有機樹脂を採用した.この色フィルターは, シアン, 黄, 緑, 白から成っており, 緑フィルターはシアンと黄フィルターの積層で形成されている.また, Si素子上に形成された色フィルターの分光透過率を非破壊で測定する手段として, 分光反射率から求める方法を開発した.その結果, 色フィルターの分光透過率と試作したカラー撮像素子の分光感度特性との間に若干差があることが明らかになった.この原因は, 色フィルター表面の凹凸により入射光線が屈折するためで, Siフォトダイオードの実効的な開口率が最大10%程度変動することが判明した.
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1983-07-20
著者
-
藤田 努
日立
-
笹野 晃
株式会社日立製作所中央研究所
-
中野 寿夫
株式会社日立製作所中央研究所
-
谷口 彬雄
株式会社日立製作所中央研究所
-
橋本 通晰
株式会社日立製作所中央研究所
-
小池 紀雄
株式会社日立製作所中央研究所
-
泉 章也
株式会社日立製作所茂原工場
-
堀内 常久
株式会社日立製作所茂原工場
-
藤田 努
株式会社日立製作所茂原工場
-
小池 紀雄
日立中央研究所
-
谷口 彬雄
日立中央研究所
-
堀内 常久
日立製作所茂原工場
-
小池 紀雄
日立・中研
-
中野 寿夫
株式会社日立製作所茂原工場
-
中野 寿夫
日立製作所茂原工場
-
笹野 晃
日立
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