SnO<SUB>2</SUB>膜のテーパエッチ
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
A new taper etching technique for SnO<SUB>2</SUB> transparent conductive films has been successfully developed. The AZ-1350J photoresist patterns with a convex-lens-like cross-section are employed asthe mask for rf sputter etching of the SnO<SUB>2</SUB> films. The primary rectangular cross-section of the photoresist pattern is rounded by a post exposure of UV light and a heat treatment. The taper angle of the SnO<SUB>2</SUB> pattern is controlled by changing the ratio of the sputter etching rate of the AZ-1350J photoresist to the SnO<SUB>2</SUB> film. This ratio is controlled by oxygen pressure in the atmosphere of the sputtering chamber. The lowest angle of 4 degrees is obtained at 2% oxygen in argon.<BR>The taper-etched SnO<SUB>2</SUB> film pattern is used as signal electrodes of a trielectrode pickup tube using Se-Te-As chalcogenide glass photoconductor.
- 日本真空協会の論文
著者
関連論文
- 4-1 MOS単板カラーカメラの画質改善
- 4-13 補色方式単板カラーカメラ
- 単板カラー固体撮像素子用色フィルター
- 2-3 単板カラーMOS撮像素子の信頼度特性の解析と測定
- カラー用固体撮像素子の開発
- 1)a-Si用金属-シリコン透明電極とその1次元センサへの応用(テレビジョン電子装置研究会(第129回))
- a-Si用金属-シリコン透明電極とその一次元センサへの応用
- 4) a-Siダイオードを使った密着方式1次元センサー(テレビジョン電子装置研究会(第120回))
- a-Siダイオードを使った密着方式一次元センサ
- 12)a-Si TFT/LCDの表示動作のモデル化と設計(画像表示研究会)
- 3-8 TSL固体撮像素子
- 3-10 単板カラーMOS撮像素子の耐熱・耐光特性
- 6)6"高精細TFTディスプレイ(画像表示研究会)
- 6"高精細TFTディスプレイ
- 固体撮像素子用有機シール中空パッケージの耐湿性
- 1)非晶質Siを用いた単板カラー固体撮像素子(テレビジョン方式・回路研究会(第76回)テレビジョン電子装置研究会(第104回)合同)
- 非晶質Siを用いた単板カラー固体撮像素子 : 非晶質Siを用いた単板カラー固体撮像素子の設計, 試作, 特性評価
- 4-3 フィルタと電極の間隔を縮小した三電極ビジコン
- 3-13 有機色分解フィルタを使用した単管カメラ用アモルファスシリコン撮像管
- 2-1 固体撮像素子用オンウエハ色フィルタ
- 3電極方式単管カラーカメラ用ビジコン
- 4-7 三電極方式単管カラーカメラ用ビジコン
- 3-5 三セレン化砒素光導電形撮像管の諸特性
- 1)固体撮像素子用カラーフィルタ(テレビジョン電子装置研究会(第83回))
- 固体撮像素子用カラーフィルタ
- SnO2膜のテーパエッチ