Al系材料を用いた100V耐圧横形ショットキーバリアダイオードの検討
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概要
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電源用ICや各種駆動用ICなどのパワーICでは出力特性の低消費電力化の目的から、高速・低損失ダイオードの搭載が要求されている。今回、これらのパワーICに搭載可能な高速・低損失横形ダイオードの検討として、バリア金属に純AlとAl-Si-Cuを用い、コンタクトホールの形成方法を変化させた数種の100v耐圧横形ショットキーバリアダイオードを実験的に試作・評価した。逆回復特性はダイオードの形成条件に依らずPiNダイオードに比して良好な特性が得られた。しかし、形成条件差は静特性に顕著に現れた。逆方向特性はコンタクトホールの形成条件に強く依存し、またAl-Si-Cuを用いたダイオードは温度特性が不安定になった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-08-15
著者
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