ドーパントリッチ石英系ガラスを用いた偏波無依存アレイ導波路格子
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概要
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石英系プレーナ光波回路(PLC)技術によるアレイ導波路格子(AWG)は、光波長多重(WDM)システムの主要光部品の一つである。しかし、実用上は石英系ガラスとSi基板の熱膨張係数差に起因する偏波依存性が問題となる。その解決法として、波長板によるTE/TM変換法や、石英基板を用いる方法が提案されている。今回、熱膨張係数がSi基板と整合するドーパントリッチ石英系ガラスを用い、Si基板上にFHD法で初めて偏波無依存AWGを作製した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-08-13
著者
-
井上 靖之
Ntt 光エレクトロニクス研究所
-
井上 靖之
Nttフォトニクス
-
鈴木 扇太
日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所
-
鈴木 扇太
Ntt 光エレクトロニクス研究所光複合部品研究部
-
大森 保治
NTTエレクトロニクス(株)
-
住田 真
NTT 光エレクトロニクス研究所
-
大森 保治
NTT 光エレクトロニクス研究所
-
住田 真
Ntt フォトニクス研究所
-
大森 保治
Nttエレクトロニクス
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