Direct Liquid Injection Systemを用いたAl-CVD堆積速度の向上
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概要
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DMAH (dimethylaluminum hydride)を用いたAl-CVD技術は、高アスペクト比のホールへの埋め込みが可能であるが、量産用製造装置に用いるための十分な堆積速度が得られないという問題がある。今回、DMAHの大量供給のために新たに液体輸送・気化方式(Direct Liquid Injection)を採用し、高速堆積を目指した。粘度が高く蒸気圧の低い液体DMAHをDLlのマイクロポンプにより半強制的に気化器に輸送し、さらにDLI気化器と反応管との間の配管のコンダクタンスを十分大きくすることで気化したDMAHの液化を防ぎ、反応管にDMAHを十分に供給できるようにした。これにより、実用化に最低限必要なO.3μm/min以上の堆積速度を実現した。また、堆積したAl膜は、炭素などの不純物の混入が無く(<0.1at%)、かつシリコン相対表面反射率225%以上である事を示した,
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-09-27
著者
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