李 昌勲 | 東北大学電気通信研究所

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概要

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• 同名の論文著者
• 東北大学電気通信研究所の論文著者

関連著者

• 李 昌勲

  東北大学電気通信研究所

• 坪内 和夫

  東北大学電気通信研究所

• 益 一哉

  東北大学電気通信研究所

• 西村 隆正

  東北大学電気通信研究所

• 松橋 秀樹

  東北大学電気通信研究所

著作論文

• Direct Liquid Injection Systemを用いたAl-CVD堆積速度の向上
• Direct Liquid Injection Systemを用いたAI-CVD堆積速度の向上
• 完全自己整合メタライゼーションMOSFETにおけるバリア層の自己整合形成
• Al CVDにおけるアルミ有機金属ソースガスの比較

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