Direct Liquid Injection Systemを用いたAI-CVD堆積速度の向上

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概要

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• 電子情報通信学会の論文
• 1999-09-27

著者

• 李 昌勲

  東北大学電気通信研究所

• 西村 隆正

  東北大学電気通信研究所

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