スーパーマグネトロンプラズマCVD法作製DLC膜の物性評価
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概要
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スーパーマグネトロンプラズマCVD装置を初めて用いて、ダイヤモンド状炭素(DLC)膜の作製を試み、その物性を評価することにより最適な成膜条件を調べた。屈折率の評価により、それはRF電力、CH_4濃度及び全ガス圧力に依存する事が分かった。すなわち、低CH_4濃度と低ガス圧力(数mTorr)の時、大きな屈折率が得られた。上下RF電力400W, 400Wで作製した膜のラマンスペクトルは、典型的なDLC膜のスペクトルを示した。また、IRスペクトルの測定から、炭素二重結合(C=C)が非常に少ないことが分かった。プロセス条件の最適化により、磁界を回転させること無く、均一な膜厚と屈折率の分布が得られた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-10-29
著者
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立田 利明
(株)サムコインターナショナル研究所
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木下 治久
静岡大学電子工学研究所
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立田 利明
サムコインターナショナル研究所
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立田 利明
サムコインターナショナル研
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本多 將宏
静岡大学電子工学研究所
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野村 秀二
静岡大学電子工学研究所
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- サマリー・アブストラクト