導電性硬質カーボン(DLC)膜のスーパーマグネトロンプラズマCVD及び膜質分析

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概要

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• 静岡大学の論文

著者

• 吉田 雅裕

  静岡大学電子工学研究所

• 木下 治久

  静岡大学電子工学研究所

• 大鷹 直樹

  静岡大学電子工学研究所

• 村上 東市

  静岡大学電子工学研究所

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