紫外線照射による大気中におけるa-CN_x:H膜の酸化(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
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概要
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スーパーマグネトロンプラズマを用いてポリマーライクのa-CN_x:H膜を作製し、大気中における紫外線照射効果を調べた。上下電極に印加する上/下RF電力を1/1W又は5/5Wとし、イソブタンと窒素(i-C_4H_<10>/N_2)を用いて成膜した。波長325nmのHe-Cdレーザーを照射してフォトルミネッセンス(PL)を測定した時、発光輝度が経時変化し、FT-IR吸収スペクトルが変化した。Xeランプを照射するとFT-IR吸収スペクトルが同様に変化した。いずれの場合も、CHの吸収スペクトルが減少しOHとCOの吸収スペクトルが増大した。蛍光X線分析を行うと、紫外線の照射によりO原子濃度は顕著に増大したが、N原子濃度に変化は見られなかった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-05-17
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