N_2添加O_2スーパーマグネトロンプラズマによるクォーターミクロンレジストパターンのエッチング形状制御
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概要
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N_2ガス添加のO_2スーパーマグネトロンプラズマを用いて、クォーターミクロンのレジストパターンを-30℃の低温でエッチングしエッチング形状を評価した。エッチングの目的はレジストのドライ現像に利用することにあり、エッチレートのrf位相差依存性と添加N_2ガス濃度依存性を測定した。N_2濃度60%、rf位相差が150゜の時、殆ど側壁をエッチングすること無しにクォーターミクロンのレジストパターンをエッチングできた。下カソードに供給する高周波電力を140W(自己バイアス電圧で-170V)まで増大させると、側壁のエッチングは2nmにまで減少した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-10-20
著者
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