澤井 巳喜夫 | (株)サムコインターナショナル研究所

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概要

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関連著者

• 澤井 巳喜夫

  (株)サムコインターナショナル研究所

• 辻 理

  サムコインターナショナル研

• 木下 治久

  静岡大学電子工学研究所

• 辻 理

  (株)サムコインタ-ナショナル研究所

• WOOD Peter

  (株)サムコインターナショナル研究所

• 山内 阿津志

  静岡大学電子工学研究所

• 澤井 巳喜夫

  サムコインターナショナル研究所

著作論文

• 成膜装置の特徴及び膜の特性(その2)
• マイクロマシ-ンと微細加工技術--プラズマプロセスのマイクロマシ-ニングへの応用
• N_2添加O_2スーパーマグネトロンプラズマによるクォーターミクロンレジストパターンのエッチング形状制御

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