スーパーマグネトロンプラズマエッチング装置の開発とSiO_2膜の高速エッチングへの応用

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概要

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• 静岡大学の論文

著者

• 木下 治久

  静岡大学電子工学研究所

• 金沢 元一

  国際電気株式会社

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