i-C_4H_10/N_2スーパーマグネトロンプラズマによる導電性DLC膜の作製

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概要

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• 静岡大学の論文

著者

• 吉田 雅裕

  静岡大学電子工学研究所

• 木下 治久

  静岡大学電子工学研究所

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