多層膜回折格子における平面波回折問題のT-matrix法解析
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概要
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多層膜回折格子の平面波回折問題をR-matrix伝搬則を用いたT-matrix法により解析している. T-matrix法の弱点の一つである層厚の大きさによる数値計算の発散を解決しており, 数値計算例において, 十分な精度のもとで数値計算が可能であることを示した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-03-25
著者
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