FDTD法による二次元任意形状回折格子解析 : 近傍界から遠方界へ変換
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概要
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計算機合成ホログラム(CGH)や分波器、合波器などのように周期性を持つ光学素子の開発が進んでいる。リソグラフィの進歩により光学素子はより微細になっている。我々は二方向に無限周期をもつ二次元任意形状回折格子をFDTD法を用いて解析した。FDTD法から得る事が出来る近傍界から遠方界に変換する式を導出した。他の手法と比較するために、一次元回折格子の完全導体正弦波格子をモデルとしてT-Matrix法と比較検討した。又、二次元回折格子解析のモデルとしてS^iO2表面にアイランド型構造を施した回折格子を用いて解析した。モデルに対して入射平面波を3次元的に変化させ、反射回折効率、透過回折効率を求める事に成功した。さらに、規格化回折誤差より誤差の評価を行った。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-01-17
著者
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