ダイレクトボンディングを用いたInP基板上磁気光学導波路
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概要
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筆者らは、半導体レーザと導波路形光アイソレータの集積化において、ダイレクトボンディング技術の可能性について検討している。今回、SiO_2クラッド層を有する磁気光学導波路をInP基板上にダイレクトボンディングを用いて集積化することを試みたので、報告する。また、集積化のための半導体レーザのエッチングプロセスについて検討したので、あわせて報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-11-04
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