ダイレクトボンディングを用いた集積形光アイソレータの提案
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概要
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磁気光学材料である磁性ガーネットは近赤外領域で低損失であり、光アイソレータ等の非相反素子に利用される。筆者らは、半導体レーザと光アイソレータの集積化を目指して、InPとガーネットのダイレクトボンディングについて研究を進めている。ダイレクトボンディングによる半導体とガーネットの集積化の現状と、ダイレクトボンディングを用いた新しい光アイソレータの構成法について述べる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-08-21
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