面内磁化形磁気光学結晶(LuNdBi)_3(FeAl)_5O_<12>のエッチングによる光損失増大の抑制
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概要
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非相反移相効果を用いた導波路形光アイソレータは、位相整合や複雑な磁化方向の制御が不要であるという利点を持つ。この素子を実現するために開発した磁性ガーネット膜(LuNdBi)_3(FeAl)_5O_12>は、Arスパッタエッチングによりリブ導波路を形成すると伝搬損失が著しく増加する。本報告では、エッチングによる損失増加の原因ならびに損失増加を抑制するためのリブ導波路製作過程について検討したので、これについて述べる。また、新しい過程に基づいて直線リブ導波路、及び本アイソレータの構成要素であるテーパ状分岐結合器を製作し、その特性を評価したので、併せて報告する。
- 1994-08-19
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