表面実装可能な零バイアス駆動ZnO/Si構造SAWコンボルバの開発

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概要

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• 2.45GHz帯ISMバンドに認可されたスペクトル拡散(SS)通信システムへの応用を目的として、表面実装型零バイアス駆動ZnO, Si構造表面弾性波(SAW)コンボルバを開発した。Si表面へのボロンイオン(B+)打ち込みによる薄いP層形成とZnO成膜条件の最適化によって、バイアスを加えずに素子の高効率動作を可能にした。素子を入出力整合回路と同一のプリント基板上に直接実装する技術の開発により、相関器モジュールを表面実装可能かつ従来モジュールに比べ面積40%、体積13%、重量8%に小型・軽量化した。

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1993-10-29

著者

• 服部 康夫

  クラリオン株式会社 技術研究所

• 須貝 和義

  クラリオン

• 三塚 秀一

  クラリオン株式会社情報通信研究所

• 新妻 照夫

  クラリオン株式会社技術研究所

• 三塚 秀一

  クラリオン技術研究所

• 新妻 照夫

  クラリオン株式会社技術開発本部要素技術開発部

• 須貝 和義

  クラリオン株式会社技術開発本部要素技術開発部

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