単層電極CCDの転送効率の解析
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概要
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0.3μmギャップの単層電極CCDを試作、その転送効率を評価した。転送効率は小信号領域と大信号領域に二つに分けて評価した。大信号領域で、新たな転送効率の劣化が見られた。これはエリアセンサで重要なCCDの電荷転送能力に影響している。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-06-23
著者
-
田中 長孝
(株)東芝セミコンダクター社イメージセンサ技術部
-
松長 誠之
東芝研究開発センター
-
田中 長孝
東芝研究開発センターULSI研究所
-
松長 誠之
株式会社東芝 セミコンダクター社 マイクロエレクトロニクス技術研究所 デバイス技術研究所
-
松長 誠之
東芝 研開セ
-
松長 誠之
(株)東芝ulsi研究所
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