レーザー弾性表面波の位相速度測定法に関する考察

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概要

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近年、表面改質、多層コーテングなどの技術により、さまざまな機能性材料が開発されているが、これらの材料特性を定量的に評価する手法はいまだ確立されていない。一方、弾性表面波は表層材のみならず、深さ方向の密度や弾性定数などの物性の影響を受け位相適度が変化することが知られている。したがって、弾性表面波の位相速度を正確に評価することが可能となれば表面層の膜厚や内部の状態を非破壊で評価可能となると期待出来る。著者らは、W. Sachseらのパルス弾性波位相スペクトラム法を用いて位相速度の評価を行ってきたが、測定精度がやや不十分な面があった。そこで本研究では、これを改良することによりさらに簡便で精度の良い位相速度測定法を提案する。
1995-03-27

著者

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