弾性波を用いた気相蒸着チタンナイトライド膜の特性評価 : 第1報, レーザ表面波による弾性特性の非破壊評価
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概要
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Elastic properties of TiN films deposited on stainless steel SUS317J2 by three physical vapor deposition methods were estimated from the velocity dispersion of laser surface acoustic waves in the frequency range of 30 to 60 MHz. The velocity dispersion of Rayleigh waves was obtained by the Scanning Interference Fringes (SIF) and used to estimate the elastic stiffness of the films. Young's modulf of TIN films were found to increase in the order of activation reaction (ARE) method → hollow cathode discharge (HCD) → arc ion discharge (AID) method. The attenuation of Rayleigh waves was the highest for AID film due to the poor quality of the film.
- 1997-05-25
著者
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