故障解析装置の冶具共通化
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概要
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LSIの故障解析は、LSIテスタによるIDDQ測定・機能テスト発光・発熱観測によるリーク箇所特定、EBテスタによる論理故障の伝搬追跡、を連携して行えることが必要である。我々は、発光・発熱を同一観測装置で行うシステム[1]を開発し、図1に示すような解析の統合化により故障解析の効率化を図ってきた。一方、DUTに電気信号を供給するインタフェースであるDUTボードは従来は装置毎に異なっていたため、ボードの配線や故障の再現性確認がその度に必要となり、解析所要期間(TAT)が長期化する問題があった。これを解決するため、解析装置間でDUTボードを共通化した冶具を開発し、解析TATを大幅に短縮したので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-03-11
著者
-
中村 信二
Ntt エレクトロニクス(株)
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久慈 憲夫
NTT LSI研究所
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竹田 忠雄
NTT LSI研究所
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中村 信二
NTT LSI研究所
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竹田 忠雄
Nttコミュニケーションズ株式会社
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久慈 憲夫
Nttエレクトロニクス株式会社lsi事業本部saセンタ
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