反応性スパッタ法による長波長帯用積層形偏光分離素子の作製
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概要
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ルチルや方解石に比べて大きな偏光分離特性を有する素子として積層形偏光分離素子(LPS)が提案され,主にスパッタ法による試作が行われてきた.素子の構成材料としては高屈折率層にはアモルファスSi:Hが,また低屈折率層には石英が用いられてきた.今回我々は作製の簡単化と時間の短縮,積層過程でのパーティクル発生防止等を可能にし,かつ大きな偏光分離特性を実現するための作製法を検討したので報告する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-03-11
著者
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