AFM微細探針によるレジストパターンの破壊メカニズムの解析
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概要
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原子間力顕微鏡(AFM)の微細探針から荷重を加えることにより、微細レジストパターンを選択的に破壊することができる。これにより、KrFレーザー用化学増幅型レジストのパターン付着力を直接かつ定量的に解析する。パターン線幅が730nmから170nmと細くなるに従って破壊荷重は小さくなる。線幅400nm付近で剥離荷重の著しい減少が見られた。AFMによるパターン残渣の観察から線幅290nm以下は残渣の残る凝集破壊、線幅420nm以上は界面破壊であった。さらに、3次元有限要素法解析によりパターン内部の応力分布を解析する。応力集中点は線幅が細くなるに従って、パターン底面より上側に移動した。これが、実験における残渣の発生の原因であると考えられる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-10-15
著者
-
河合 晃
長岡技術科学大学工学部電気系
-
金子 悦久
長岡技科大・工 電気系
-
森池 教夫
長岡技術科学大学 工学部 電気系
-
金子 悦久
長岡技術科学大学 工学部 電気系
-
河合 晃
長岡技術科学大学工学部
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