森池 教夫 | 長岡技術科学大学 工学部 電気系

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概要

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関連著者

• 河合 晃

  長岡技術科学大学工学部電気系

• 森池 教夫

  長岡技術科学大学 工学部 電気系

• 河合 晃

  長岡技術科学大学工学部

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  長岡技科大 電気系

• Kawai A

  Mitsubishi Electric Corp. Hyogo

• 阿部 貴人

  長岡技科大・工 電気系

• 森池 教夫

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• 金子 悦久

  長岡技科大・工 電気系

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• 井上 大輔

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• 丹治 隆志

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  長岡技術科学大学 工学部 電気系

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著作論文

• 原子間力顕微鏡(AFM)を用いた疎水化Si基板上における微細レジストパターンの付着力解析
• 原子間力顕微鏡(AFM)を用いた直径84-364nmの微小円柱型レジストパターンの弾性解析
• 原子間力顕微鏡を用いた微細レジストドットパターンの疲労解析
• 原子間力顕微鏡を用いた一括破壊試験法による有機ドットパターンの付着挙動解析
• 原子間力顕微鏡を用いたマニピュレーション技術による微細レジストパターン形成
• AFM微細探針によるレジストパターンの破壊メカニズムの解析
• 原子間力顕微鏡(AFM)の微細探針を用いた微細レジストマイクロパターンの直接剥離(3)
• AFM微細探針によるKrFエキシマレーザー用化学増幅型レジストの付着力解析法

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