金子 悦久 | 長岡技術科学大学 工学部 電気系

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概要

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• 金子 悦久

  長岡技科大・工 電気系

• 金子 悦久

  長岡技術科学大学 工学部 電気系

• 河合 晃

  長岡技術科学大学工学部電気系

• 河合 晃

  長岡技科大 電気系

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• 川上 喜章

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  長岡技科大・工

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著作論文

• 原子間力顕微鏡(AFM)を用いた線幅170nmのレジストパターン破壊におけるクラックモデル解析
• 原子間力顕微鏡(AFM)の微細探針を用いたレジストマイクロパターンの直接剥離(2)
• AFM微細探針によるレジストパターンの破壊メカニズムの解析
• 原子間力顕微鏡(AFM)の微細探針を用いた微細レジストマイクロパターンの直接剥離(3)

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