原子間力顕微鏡(AFM)を用いた線幅170nmのレジストパターン破壊におけるクラックモデル解析
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概要
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- 2001-07-05
著者
-
河合 晃
長岡技科大 電気系
-
河合 晃
長岡技術科学大学工学部電気系
-
井上 大輔
長岡技術科学大学 電気系
-
Kawai A
Mitsubishi Electric Corp. Hyogo
-
井上 大輔
長岡技科大・工 電気系
-
金子 悦久
長岡技科大・工 電気系
-
金子 悦久
長岡技術科学大学 工学部 電気系
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