走査型プローブ顕微鏡によるシリコン酸化膜の経時絶縁破壊測定
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概要
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- 日本表面科学会の論文
- 2006-04-10
著者
-
河合 晃
長岡技術科学大学工学部電気系
-
安江 孝夫
三菱電機株式会社中津川製作所
-
Kawai A
Mitsubishi Electric Corp. Hyogo
-
Kawai A
Okayama Univ. Graduate School Of Medicine And Dentistry Okayama
-
河合 晃
長岡技科大・工
-
河合 晃
長岡技術科学大学工学部
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