微細周期パターン上へのプラズマ重合膜の堆積特性
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概要
著者
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河合 晃
長岡技術科学大学工学部電気系
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Kawai A
Mitsubishi Electric Corp. Hyogo
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磯部 亮
長岡技術科学大学 工学部
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磯部 亮
長岡技術科学大学 工学部 電気系
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河合 晃
長岡技術科学大学工学部
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