原子間力顕微鏡(AFM)を用いた微細加工パターンの接着性解析
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2002-12-01
著者
-
河合 晃
長岡技術科学大学工学部電気系
-
Kawai A
Mitsubishi Electric Corp. Hyogo
-
Kawai A
Okayama Univ. Graduate School Of Medicine And Dentistry Okayama
-
河合 晃
長岡技術科学大学工学部
関連論文
- 断面SEM法によるはんだバンプの剥離過程解析
- 原子間力顕微鏡(AFM)によるナノバブルの付着凝集解析
- 角度制御型シェアモード剥離法によるはんだバンプの付着性解析
- 原子間力顕微鏡を用いた微粒子の付着挙動解析 : フォースカーブによる局所解析
- 機能水中における基板上のPSLの剥離挙動解析
- 固体表面での微小液滴群の成長・消滅過程
- 希塩酸処理プロセスを用いたBi系SQUIDの作製法(ジョセフソン接合・材料,一般)
- 微小液滴の冷却過程とカプセル化
- 原子間力顕微鏡(AFM)による微細レジストパターン内の屈折率分布の解析
- 走査型プローブ顕微鏡によるシリコン酸化膜の経時絶縁破壊測定
- 原子間力顕微鏡(AFM)による接着層の表面・界面分析
- 原子間力顕微鏡(AFM)による微細高分子パターンの付着・凝集性解析
- 微細領域での接着解析技術の進歩
- 微小固体の接着・硬化・表面特性のナノスケール解析
- 微細領域での接着解析技術の進歩
- 原子間力顕微鏡(AFM)を用いた高分子膜表面に働く相互作用引力の実測と解析
- 高分子膜上での微小気泡の付着・脱離制御
- 微細レジストパターンの剥離特性におけるAFM探針の移動速度の影響
- 微細レジストパターンの剥離特性におけるAFM探針の移動速度の影響
- Cohesion Property of Resist Pattern Surface Analyzed by Tip Indentation Method
- 原子間力顕微鏡(AFM)で解析したArFエキシマーレーザー用レジストパターンの付着性の熱処理温度依存性
- 原子間力顕微鏡による微小固体の付着・凝集解析
- ヘキサメチルジシラザン(HMDS)処理をした探針先端とSi基板表面間のファンデルワールス相互作用
- Three-dimensional gait analysis of adults with hip dysplasia after rotational acetabular osteotomy
- レジスト膜上のスピンオンガラス膜に発生する微細亀裂
- TMAH水溶液中でレジスト膜に発生した環境応力亀裂
- フォトレジスト膜の残留歪みと接着性に及ぼす溶剤の効果
- 有機スピンオンガラス上でのフォトレジストの濡れ不良
- レジスト微細パタ-ン内の熱応力分布と接着特性
- 異種材料で構成された格子状基板上での液滴の接触角
- ミクロンサイズの幾何学的凹凸表面上での液滴の濡れ挙動
- 原子間力顕微鏡を用いた微細深針と無機固体表面間のHamaker定数解析
- AFM微細探針によるポリスチレンラテックス(PSL)微細粒子間の相互作用力解析
- AFM探針とポリスチレンラテックス(直径42nm〜1μm)凝集粒子間の付着力解析 : DMT理論に基づく微粒子系の相互作用力の補正式
- 高濃度イオン注入による材料合成 : 高濃度B^+注入によるTi化合物の生成とキャラクタリゼーション
- 原子間力顕微鏡(AFM)により解析した熱応力に起因するラインレジストパターンの剥離特性
- 原子間力顕微鏡(AFM)を用いた疎水化Si基板上における微細レジストパターンの付着力解析
- 原子間力顕微鏡(AFM)を用いた線幅170nmのレジストパターン破壊におけるクラックモデル解析
- Cu/DFR/Niめっき液三重点における界面エネルギー解析によるEaves形成モデルの確立
- Cu基板/DFR/Niめっき液の3重点における界面エネルギーの平衡解析による Eaves 形成モデルの確立
- 原子間力顕微鏡(AFM)を用いた微細加工パターンの接着性解析
- 原子間力顕微鏡(AFM)を用いた高分子集合体の凝集・付着性解析
- 原子間力顕微鏡(AFM)を用いたサブミクロンサイズのラインレジストパターン表面のインデンテイション解析
- 原子間力顕微鏡(AFM)を用いた直径84-364nmの微小円柱型レジストパターンの弾性解析
- 原子間力顕微鏡 (AFM) を用いた線幅60nmのラインレジストパターンの弾性解析
- 原子間力顕微鏡(AFM)による分子間力解析に基づいたエポキシ系接着剤の接着性解析
- 原子間力顕微鏡(AFM)によるラプラスカ測定に基づいたナノ構造の破壊強度に関する考察
- 原子間力顕微鏡(AFM)による高分子集合体のナノスケールでの凝集性解析
- Characterization of SiO2 Surface Treated by HMDS Vapor and O2 plasma with AFM Tip
- 原子間力顕微鏡(AFM)で解析したArFエキシマーレーザー用レジストパターンの付着性の熱処理温度依存性
- 技術論文 ヘキサメチルジシラザン(HMDS)処理をした探針先端とSi基板表面間のファンデルワールス相互作用
- 原子間力顕微鏡(AFM)により解析した熱応力に起因するラインレジストパターンの剥離特性
- Cohesion Property of Resist Micro Pattern Analyzed by Using Atomic Force Microscope (AFM)
- 水蒸気吸着に伴う微細カンチレバーのたわみ変位の解析
- 探針の吸着力測定による水蒸気の凝縮性解析
- Determination of Young's Modulus of Polymer Aggregate Based on Hertz Theory
- Cohesion Property of Polymer Aggregate Depending on Hardening Treatment
- Diagnosis of infection after total hip arthroplasty
- Endostatin Inhebits Adhision of Endothelial Cells to Collagen I via α_2β_1 Integrin, a Possible Cause of Prevention of Chondrosarcoma Growth
- 接触角法により測定した遷移金属薄膜の表面自由エネルギ-の分散及び極性成分
- Vascular Endothelial Growth Factor Principally Acts as the Main Angiogenic Factor in the Early Stage of Human Osteoblastogenesis
- 交流インピーダンス法による接着層の特性解析
- 遷移金属薄膜上に形成したBaTiO_3薄膜の熱処理時の接着挙動
- カンチレバー方式による高感度センサーの開発
- 原子間力顕微鏡(AFM)を用いた微細探針走査法によるフォトレジスト微細パターンの接着性解析
- 原子間力顕微鏡(AFM)の微細探針を用いたレジストマイクロパターンの直接剥離
- フォトレジスト膜へのアルカリ水溶液の浸透と接着性
- Direct Measurement of Resist Pattern Adhesion on the Surface with Silane-coupling Treatment by Atomic Force Microscope(AFM)
- Glass/レジスト/Cu/Al/Glass多層構造の破壊特性解析
- 2枚の基板で挟まれた高分子膜に生じる Viscous Finger 変形と接着性の解析
- インピーダンス法によるフォトレジスト膜内の樹枝状空隙パターンの成長挙動解析
- 塗工液の液物性コントロールとトラブル対策
- 液浸リソグラフィーにおけるナノスケールバブルの制御 (特集 最新のリソグラフィー技術--液浸露光を中心として)
- 原子間力顕微鏡を用いた局所帯電法による微粒子群の凝集性の制御
- The Photopolymer Science and Technology Award
- Analysis for Drying Behavior of Rinse Water Depended on Resist Pattern Arrangement
- Cohesion Property of Polymer Aggregates in Resist Pattern Analyzed by Atomic Force Microscope (AFM)
- Van der Waals Interaction between Polymer Aggregates and Substrate Surface Analyzed by Atomic Force Microscope(AFM)
- Adhesion and Cohesion Properties of Dot Resist Patterns Ranging from 84 to 364 nm Diameter Analyzed by Direct Peeling Method with Atomic Force Microscope Tip
- 微細周期パターン上へのプラズマ重合膜の堆積特性
- Cu/Al多層膜表面に発生した"しわ"による応力分布解析法
- 原子間力顕微鏡を用いた相互作用力の解析 : 高分子微小固体の付着・凝集性
- Estimation of Young's Modulus of Resist Pattern by using Atomic Force Microscope
- Collapse Behavior of KrF Resist Line Pattern Analyzed with Atomic Force Microscope Tip
- 原子間力顕微鏡を用いた微細レジストドットパターンの疲労解析
- 原子間力顕微鏡を用いた一括破壊試験法による有機ドットパターンの付着挙動解析
- 原子間力顕微鏡を用いたナノスケール固体の付着・凝集特性解析
- 原子間力顕微鏡を用いたマニピュレーション技術による微細レジストパターン形成
- 原子間力顕微鏡(AFM)を用いた線幅100nm以下のラインレジストパターンの付着力解析
- HMDSを用いたプラズマ重合法によるナノメータサイズのギャップ作製技術
- マイカ劈開表面での微細探針の磨耗に伴う吸着力変化
- 固体表面での微細探針の吸着力解析 〜表面粗さ,表面エネルギー,吸着水の影響〜
- Analysis of Resist Pattern Collapse by Direct Peeling Method with Atomic Force Microscope Tip
- 原子間力顕微鏡による表面特性の解析
- 探針押込み法によって解析した有機ドットパターンの倒壊特性
- 原子間力顕微鏡による微小凝集体の付着力解析
- Cu/Al多層膜構造の破壊強度に及ぼすAl自然酸化膜の影響
- AFM微細探針によるレジストパターンの破壊メカニズムの解析
- 溶剤蒸発に伴うレジスト膜の粘性指状変形と接着性
- 原子間力顕微鏡(AFM)の微細探針を用いた微細レジストマイクロパターンの直接剥離(3)