CoFeスピンバルブ膜のCurrent-perpendicular-to-plane(CPP)-GMR特性とその素子形状依存性(HDD及び一般)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
CoFeを使ったスピンバルブタイプのcurrent-perpendicular-to-plane(CPP)-GMRについて検討した. 素子構造は[下部電極]/IrMn(10nm)/CoFe(4nm)/Cu(3nm)/CoFe(7nm)/[キャッピング層]とした. Co_<75>Fe_<25>を使ったCPP-GMRはCo_<90>Fe_<10>を使ったCPP-GMRと比べて1.5倍のMR比, 2.88%を示した. CPP-GMR素子作製プロセスにおける素子エッチングの深さを変えた, 以下に示す素子を3種類作製した. タイプA;キャッピング層までエッチング, タイプB;CoFe/Cu/CoFeまでエッチング, タイプC;IrMn層までエッチング. MR比は素子エッチング深さを深くすることで増大し, タイプCにおいてMR比3.31%を得た.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-02-03
著者
-
青島 賢一
日本放送協会放送技術研究所
-
町田 賢司
日本放送協会放送技術研究所
-
久我 淳
NHK放送技術研究所
-
宮本 泰敬
NHK技研
-
船橋 信彦
NHK放送技術研究所
-
久我 淳
日本放送協会放送技術研究所
-
町田 賢司
日本放送協会 放送技術研究所
-
船橋 信彦
日本放送協会 放送技術研究所
-
宮本 泰敬
日本放送協会 放送技術研究所
-
宮本 泰敬
東工大
-
久我 淳
日本放送協会 放送技術研究所
-
青島 賢一
日本放送協会 放送技術研究所
-
宮本 泰敬
NHK
関連論文
- サブ波長スケール磁気光学素子アレイによる空間光変調器とホログラフィック応用に関する開発(立体映像技術一般)
- 垂直磁気記録媒体へのリングヘッド記録におけるヘッドスキュー角の影響
- 非晶質Tb-Co/Co-Cr-Pt-B複合垂直媒体の記録特性と熱緩和特性 : 垂直磁気記録媒体
- 非晶質/Co-Cr複合垂直媒体の磁気記録特性
- 垂直媒体記録特性の記録電流とヘッドスキュー角の影響
- 29pPSB-52 Ruシリサイドのナノ構造作製と電子状態の測定(29pPSB 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 23aXB-3 Si表面上におけるRuの拡散と表面構造の観察(23aXB 表面界面構造,領域9(表面・界面,結晶成長))
- Si(111)面におけるRuシリサイドの形成と成長過程
- 22pPSA-78 Ruシリサイドの形成と局所電子状態の測定(領域9ポスターセッション,領域9,表面・界面,結晶成長)
- Cu下地膜を用いたFe-Co-Al-O膜の磁気特性(磁性薄膜,磁気記録一般)
- Tb-Fe-Co/Co-Cr-Pt-B複合垂直媒体の記録特性と熱揺らぎ
- CoPtCr-SiO_2グラニュラー垂直媒体の高密度記録磁化パターン
- 垂直記録媒体の熱揺らぎのグレイン間交換スティフネス依存性
- 垂直記録媒体の熱揺らぎのグレイン間交換スティフネス依存性(垂直記録,一般)
- CoPtCr-SiO_2グラニュラー垂直媒体における高密度記録磁化パターンの観察
- 垂直媒体の磁気クラスターサイズと記録特性
- 非晶質/Co-Cr系複号垂直媒体の記録特性と熱緩和特性(垂直記録および一般)
- 非晶質/Co-Cr系複合垂直媒体の記録特性と熱緩和特性
- 非晶質/Co-Cr複合垂直媒体の記録パターンのシミュレーション
- MFM探針による磁壁操作(計測・高周波デバイス)
- サブ波長スケール磁気光学素子アレイによる空間光変調器とホログラフィック応用に関する開発
- CoTb/CoCrPt複合型垂直媒体の高密度記録特性と熱緩和
- 粒間相互作用が記録パターンへ与える影響
- C-7-5 FIB加工により作製した単磁極Likeヘッドでの記録再生特性
- C-7-4 垂直媒体の異方性磁界分布が逆磁区発生に与える影響
- C-7-3 二層膜垂直磁気記録媒体におけるSpike Noiseの低減
- ダマシン法によるY字型Ni_Fe_構造規則配列の作製と磁気的評価(磁性体物理・超伝導)
- パーマロイ円形ドット配列の磁化反転
- ナノ磁性体規則配列の作製と磁化状態の解析
- 27aC08 MOD法によるパターン基板へのBi系高温超伝導薄膜の成長(機能性結晶(3),第34回結晶成長国内会議)
- Si埋め込み磁性ドット配列の磁気特性と磁化状態解析
- 垂直磁気記録用フロントヨーク積層型TMRヘッド解析 : 磁気ヘッド
- 垂直磁気記録用フロントヨーク積層型TMRヘッドの再生特性解析
- 近接配置したCPP-SV素子のスピン注入磁化反転と磁気光学測定(映像情報機器及び一般)
- 近接配置したCPP-SV素子のスピン注入磁化反転と磁気光学測定 (マルチメディアストレージ コンシユーマエレクトロニクス)
- CoFeスピンバルブ膜の Current-perpendicular-to-plane (CPP)-GMR 特性とその素子形状依存性
- CoFeスピンバルブ膜のCurrent-perpendicular-to-plane(CPP)-GMR特性とその素子形状依存性(HDD及び一般)
- Co-Feスピンバルブ膜のCurrent-perpendicular-to-plane(CPP)-GMR特性とその素子形状依存性 (スピントロニクス 特集号)
- Fe3O4系微小トンネル接合の作製--スピンフィルターの実現を目指して (スピントロニクス 特集号)
- イオンビームスパッタ成膜によるCoFe合金スピンバルブ膜のCPP-GMR特性
- Cu下地膜を用いたFe-Co-Al-O薄膜の磁気特性(ソフト磁性材料)
- Cu下地膜を用いたFe-Co-Al-O膜の磁気特性
- Cu下地膜を用いたFe-Co-Al-O膜の磁気特性
- フロントヨーク積層型TMRヘッドの再生特性シミュレーション
- フロントヨーク積層型TMRヘッドの再生特性シミュレーション
- CoPtCr-SiO_2垂直磁気記録媒体の高密度記録特性
- 垂直磁気記録用フロントヨーク積層型TMRヘッド解析
- イオンビームアシストしたPt-Mn/Co-Fe膜の交換結合
- SC-5-7 垂直磁気記録用フロントヨーク積層型TMRヘッドの再生特性解析
- マルチチャンネルMRヘッドのシミュレーションと素子評価--超高速・大容量記録装置の実現に向けて (超高密度記録技術特集)
- 解説・報告 スピンエレクトロニクスストレージの展望 (超高密度記録技術特集)
- MR2000-16 マルチチャンネルMRヘッドのシミュレーションと素子評価
- Ni-Fe/CuおよびFeMn/Ni-Fe多層膜における界面変調効果
- Krイオンビームスパッタ堆積によるGMR多層膜の特性改善
- Ni-Fe/Cu多層膜における界面へのイオン照射 (多層膜・人工格子・グラニューラー)
- Ni-Fe/Cu多層膜における界面へのイオン照射
- Ni-Fe/Cu多層膜の界面におけるイオン照射効果と磁気抵抗特性の変化
- Ni-Fe/Cu GMR多層膜におけるイオン照射とアニールによる界面制御効果とスピンバルブのFeMn層配向制御効果
- Ni-Fe/Cu GMR多層膜におけるイオン照射とアニールによる界面制御効果とスピンバルブのFeMn層配向制御効果
- Ni-Fe層によるスピンバルブ中FeMn層配向度制御効果
- GMR素子用Ni-Fe/Cu膜における界面へのイオン照射
- イオンビームスパッタ法によるNi-Fe/Cu巨大磁気抵抗効果多層膜のバッファー層制御特性
- 垂直磁気記録媒体の記録磁化パターンシミュレーショシ
- 垂直媒体高密度記録特性の交換スティフネス依存性--超高密度記録に適した垂直磁気記録媒体を設計する (超高密度記録技術特集)
- 11-3 二層垂直媒体の超高密度記録特性のシミュレーション
- ディジタル録画用8ミリ幅Co-Cr-Ta/Ni-Fe垂直磁気記録テープの開発
- ディジタル録画用8ミリ幅 Co-Cr-Ta/Ni-Fe 垂直磁気記録テープの開発
- 超高精細空間光変調素子
- マルチチャンネルMRヘッドの再生クロストーク特性
- 7-2 垂直媒体記録磁化パターンの記録電流依存性
- 垂直媒体記録磁化パターンのシミュレーション
- 11-1 磁性半導体lnMnSb薄膜の作製
- 非晶質媒体への磁気記録シミュレーション
- 連続媒体の磁気記録シミュレーション
- スピントロニクスの研究 (スピントロニクス 特集号)
- Co-Cr-Ta-Mo垂直媒体の磁気特性と記録再生特性
- 高感度ヨーク型MRヘッドの設計と解析
- 連続媒体の磁気記録シミュレーション
- IBS作製Co-Cr-Ta膜の結晶性と磁気特性
- マルチチャンネルMRヘッドの再生クロストーク計算
- イオンビームスパッタ法によるNi-Fe膜の磁気特性
- 超高精細スピン注入型空間光変調素子の光変調特性 (磁気記録・情報ストレージ)
- 超高精細スピン注入型空間光変調素子の光変調特性 (マルチメディアストレージ コンシューマエレクトロニクス)
- 原子間力顕微鏡を用いた磁性細線上の磁区トラップサイトの作製 (超小型カメラを実現する撮像・記録デバイス技術 特集号)
- 磁性細線の研究動向 (超小型カメラを実現する撮像・記録デバイス技術 特集号)
- 電子ホログラフィ応用に向けた超高精細スピン注入型空間光変調器の開発 (立体映像技術・情報ディスプレイ)
- 磁気光学効果を用いた高精細空間光変調器およびその評価技術の開発
- 広視域のホログラフィ立体表示に向けた超高精細スピンSLM (映像表現&コンピュータグラフィックス 立体映像技術)
- 電子ホログラフィ応用に向けた超高精細スピン注入型空間光変調器の開発(立体映像技術一般)
- 超高精細スピン注入型空間光変調素子の光変調特性(映像情報機器及び一般)
- 7-8 スピン注入型光変調素子のMO特性評価(第7部門 センシング&ストレージ)
- 7-7 サブミクロン光変調素子に向けた垂直磁化トンネル接合の作製(第7部門 センシング&ストレージ)
- 2-11 Pt/Co多層膜を用いた垂直磁化GMR薄膜の磁気光学的評価(第2部門 コンシューマエレクトロニクス&マルチメディアストレージ)
- 2-10 微細磁区構造の磁気光学観察(第2部門 コンシューマエレクトロニクス&マルチメディアストレージ)
- 3-3 ホイスラー合金を用いたCPP-GMR素子のスピン注入磁化反転(第3部門 ストレージ&ディスプレイ&センシング&コンシューマエレクトロニクス)
- 広視域のホログラフィ立体表示に向けた超高精細スピンSLM(3次元映像及びホログラフィー)
- 電子ホログラフィ応用に向けた超高精細スピン注入型空間光変調器の開発
- 14-7 ホログラフィ立体表示用スピン注入型空間光変調器の開発(第14部門立体映像技術)
- 10-6 GMRホログラムによる広視域立体像再生(第10部門 立体映像技術)
- 広視域のホログラフィ立体表示に向けた超高精細スピンSLM